*坩埚喷涂烘烤装置是多晶硅铸锭炉的辅助工艺装备，用于对铸锭炉所使的石英坩埚进行脱模剂（SiN粉末）涂层喷涂。该装置是铸锭炉必备附机，采用先进的温控匀热技术及美国产高精密防飞雾喷枪，能帮助用户完成高质量的坩埚喷涂，并减少原料的消耗！根据用户需求，坩埚喷涂烘烤工艺装备包括双向回转加热器、脱模剂（SiN）泵送系统、坩埚烘箱等辅助附件组成。
该喷涂台和喷枪适用于多晶硅坩埚的氮化硅涂层的喷涂。喷枪采用美国产的精密可调非金属喷枪，搅拌器采用非金属材料制成，在喷涂过程中绝对没有金属杂质进入多晶硅坩埚的涂层中，有效保证了氮化硅涂层的纯净。
该喷涂台和喷枪适用于多晶硅坩埚的氮化硅涂层的喷涂。喷枪采用美国产的精密可调非金属喷枪，搅拌器采用非金属材料制成，在喷涂过程中绝对没有金属杂质进入多晶硅坩埚的涂层中，有效保证了氮化硅涂层的纯净。
一、旋转台技术规格：
a、加热腔室：长880 mm×宽880 mm×深400～450mm
b、适用坩埚(外径)：870×870×420和480mm；
c、最大承重量：150(kg)；
d、额定功率：9kW；
e、回转角度：270°；
f、翻转角度：15°；
g、最高加热温度：150℃；
h、电源：3相380V 50HZ；
b、适用坩埚(外径)：870×870×420和480mm；
c、最大承重量：150(kg)；
d、额定功率：9kW；
e、回转角度：270°；
f、翻转角度：15°；
g、最高加热温度：150℃；
h、电源：3相380V 50HZ；